下载掩埋式高亮度发光二极管结构的技术资料

文档序号:6866015

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本发明公开一种掩埋式高亮度发光二极管结构,采用MOCVD、MBE或其他设备在基板生长外延层,外延层可以通过键合方式或某种方式转移到另一基板,出光层另一侧作为第一电极,通过掩膜保护,利用干法蚀刻或湿法蚀刻制作掩埋区,蚀刻深度越过有源层,再通过...
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