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单栅非易失性快闪存储单元、存储器件及其制造方法技术
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文档序号:6865061
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本发明提供了一种单栅非易失性快闪存储单元、包括该存储单元的存储器件及其制造方法,该存储单元包括半导体结构及可动开关,所述可动开关包括:支撑部件和导电互连部件,所述支撑部件位于所述导电互连部件的外围,且与所述层间介质层连接,所述导电互连部件悬...
该专利属于江苏丽恒电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏丽恒电子有限公司授权不得商用。
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