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一种光刻机投影物镜像面在线测量标记及利用该标记的测量方法。所述标记由周期分布的子标记组成，所述子标记中包括多种不同的线条标记。所述方法在预期的最佳像面附近，在不同的高度上扫描标记的空间像，记录空间像能量分布，根据能量分步计算测量标记在不同测...
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