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一种含氧半导体薄膜晶体管(oxide?thin?film?transistor，OTFT)的制作方法，其利用沉积工艺形成薄膜晶体管的含氧半导体活性层，其中进行沉积工艺时所用的气体的总流量大于100标准状态毫升每分钟，所用的电功率介于1.5千...
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