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一种光刻投影物镜，把掩模的图像聚焦成像在硅片上，从掩模开始包括沿光轴依次设置的：第一透镜组、第二透镜组、孔径光阑AS、相对于孔径光阑与第二透镜组对称的第三透镜组、相对于孔径光阑与第一透镜组对称的第四透镜组。...
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