下载清洗装置的技术资料

文档序号:6862977

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一种玻璃光学元件等的清洗对象进行清洗的清洗装置,设有:将清洗对象保持于清洗夹具上并利用清洗剂进行清洗的清洗槽、向该清洗槽内供给清洗剂的供给通道、以及从上述清洗槽回收上述清洗剂的回收通道,上述清洗槽设有:从底部侧排出上述清洗剂的第一排液部、从...
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