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文档序号:6855658
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本发明提供一种可确保高气密性的测试用载体。测试用载体(10)包括将晶粒(90)夹在中间相互粘合在一起的盖子部件(50A)和基部部件(20A),盖子部件(50A)可透过紫外线。...
该专利属于株式会社爱德万测试所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱德万测试授权不得商用。
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