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本发明提供一种曝光区域之间图形偏移量的检测方法及测试图形，能够快速和实时地对曝光区域之间图形偏移量进行检测，提高不良检出率与良率。包括：通过两次曝光和其他构图工艺得到至少一对具有特定位置关系的导电测试图形；对至少一对导电测试图形进行电学特性...
该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。

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