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包含钌掺杂的氧化钽基电阻型存储器及其制备方法技术
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下载包含钌掺杂的氧化钽基电阻型存储器及其制备方法的技术资料
文档序号:6852548
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本发明属于半导体存储器技术领域,具体为包含钌掺杂的氧化钽基电阻型存储器。该电阻型存储器包括上电极、下电极、以及设置在上电极和下电极之间的包含钌掺杂的氧化钽基存储介质层。包含Ru掺杂的氧化钽基存储介质层中,通过分布的Ru元素,可以有效控制氧化...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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