温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种硅片对准光源幅度调制装置，包括：激光器、光弹晶体、压电晶体、功率驱动器、调制控制器、光学组件、偏振分光镜、光电探测器、信号调理单元、信号采集单元及控制单元。光源模块提供的入射光束依次经过光幅调制模块、光学组件、分束器后形成第一调制光束与...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。