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本发明提供一种刀具,适于切割置放于光固化胶层上的工件。刀具包括主体、切削层及光放射材料。切削层配置于主体表面,用以切割工件。光放射材料配置于切削层内或配置于切削层与主体之间,用以在切削层切割工件时释放光线,以通过光线固化邻近切割路径的光固化...该专利属于日月光半导体制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日月光半导体制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种刀具,适于切割置放于光固化胶层上的工件。刀具包括主体、切削层及光放射材料。切削层配置于主体表面,用以切割工件。光放射材料配置于切削层内或配置于切削层与主体之间,用以在切削层切割工件时释放光线,以通过光线固化邻近切割路径的光固化...