下载外延沟道的SiCIEMOSFET器件及制备方法的技术资料

文档序号:6848187

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本发明公开了一种外延沟道的SiC?IEMOSFET器件及制作方法,主要解决现有SiC?IEMOSFET器件沟道电子迁移率低,导体电阻大的问题。本发明的器件包括栅极(1)、SiO2隔离介质(2)、源极(3)、源区N+接触(4)、P+接触(5)...
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