下载晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法的技术资料

文档序号:6838987

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本发明涉及一种晶体硅太阳能电池的液体氧化钝化方法,将硅片放入热氧化液体浸泡制备超薄二氧化硅薄膜,进行氮化硅镀膜工艺。本发明中二氧化硅薄膜上表面钝化加强膜的制备节省了时间、降低了成本,并提高了太阳能电池的光电转换效率。...
该专利属于常州天合光能有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州天合光能有限公司授权不得商用。

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