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公开了一种衬底处理装置，尤其公开了一种能够对衬底实施诸如退火、沉积和刻蚀等预定工序的衬底处理装置。该衬底处理装置包括：腔室，用于形成密封处理空间，覆盖元件，用于覆盖所述腔室的内表面的至少一部分，以及温度控制元件，安装于所述覆盖元件和所述腔室...
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