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一种能够在减轻生产效率低下的同时自动校正制程中所登记的坐标与实际的坐标的偏差的处理装置、处理系统以及坐标校正方法，基板检查/测量装置(10)确定输送台(13)上载置的基板W中的模型的实际坐标，并将确定后的实际坐标登记到制程中(步骤S?114...
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