下载氮化物半导体元件的技术资料

文档序号:6828187

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本发明的氮化物半导体元件,包含:基板;第1缓冲层,其形成于所述基板上,由交替地层叠了多对相互组成不同的2种III族氮化物半导体层的超晶格构造构成;第2缓冲层,其在所述第1缓冲层上,与该第1缓冲层相接地被层叠,由交替地层叠了多对相互组成不同的...
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