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本发明提供一种正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法，该正型放射线敏感性组合物在高水平的保持放射线敏感性组合物的放射线敏感度的同时，抑制自由基或过氧化物的发生，由此可形成下述层间绝缘膜等，该层间绝缘膜具有优异的耐光性以及耐热性，而且...
该专利属于JSR株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过JSR株式会社授权不得商用。

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