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本发明公开了一种提高压缩机滑片耐磨损性的薄膜以及制备方法，该薄膜位于滑片基体表面，为多层膜结构，自滑片基体表面起，第一层是线性离子源辅助沉积的金属单质薄膜粘结层，第二层是金属单质薄膜过渡层，第三层是金属硬质碳化物薄膜过渡层，第四层是类金刚石...
该专利属于宁波甬微集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波甬微集团有限公司授权不得商用。

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