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一种多路气体管理单元制造技术
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文档序号:6816364
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一种多路气体管理单元,属抽/排气装置领域。包括真空车/泵的连接管道和待处理气室的气管,其特征是在真空车/泵连接管道和待处理气室气管之间,设置“一对多”式气量分配单元,所述的“一对多”气路分配组件为四通管件,在四通管件与待处理气室气管之间,设...
该专利属于上海市电力公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海市电力公司授权不得商用。
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