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本实用新型公开了一种基于PZT的激光扫描微圆孔的装置，包括一个激光器和一个待加工的工件，在所述激光器出射光束面上设有两块成一定间距垂直分布的平面反射镜，与平面反射镜折射的激光束相对应处设有一个PZT光学平台，在PZT光学平台下方依次垂直分布...
该专利属于中科中涵激光设备（福建）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科中涵激光设备（福建）股份有限公司授权不得商用。

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