下载具应力再分布层的集成电路系统的技术资料

文档序号:6810788

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一种制造集成电路系统的方法,包含:提供具有晶体管与金属化层的基板;形成与所述基板的所述金属化层直接接触的金属垫;形成与所述金属垫直接接触以及覆盖所述基板的钝化层;在所述钝化层上方,形成与所述金属垫直接接触的路由追踪,并且所述路由追踪实质大于...
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