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抛光液物理参数测量装置、测量方法和化学机械抛光设备制造方法及图纸
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下载抛光液物理参数测量装置、测量方法和化学机械抛光设备的技术资料
文档序号:6809571
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本发明公开了一种用于化学机械抛光设备的抛光液物理参数测量装置及测量方法。化学机械抛光设备包括抛光头、转台、抛光盘和抛光垫,其中抛光垫设置有通孔。抛光液物理参数测量装置包括传感器,传感器设置在抛光盘内且适于通过抛光垫内的通孔与抛光液接触以测量...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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