下载CMOS图像传感器制作方法的技术资料

文档序号:6801503

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一种CMOS图像传感器制作方法,其中,包括:形成常规结构的光电二极管;控制离子注入角度,对所述光电二极管设定区域进行多次离子注入,且所述多次离子注入的区域至少部分重合,从而在所述光电二极管设定区域中形成至少一条沟道,使得在所述光电二极管垂直...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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