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可分离式腔体制造技术
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文档序号:6796688
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可分离式腔体,本发明的实施方式包括一腔体,该腔体的顶部或底部至少其中之一与腔体侧壁分离。本发明适于用作真空交换腔、基板传递腔和真空处理腔等。...
该专利属于应用材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。
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