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本发明公开了一种能漏硅后防护的单晶炉，它包括：保温底板、坩埚轴、加热器、硅液导流装置、加热器防护罩；所述硅液导流装置安装固定于坩埚轴上；所述加热器防护罩完全罩住加热器的底部，并紧贴着加热器腿部。本发明通过硅液导流装置、加热器防护罩以及设有突...
该专利属于奥特斯维能源（太仓）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥特斯维能源（太仓）有限公司授权不得商用。

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