下载一种金刚线切割硅片的清洗方法的技术资料

文档序号:6785112

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及切割硅片的后处理技术领域,特别是一种金刚线切割硅片的清洗方法。该方法如下:经过脱胶后的硅片分别在碱性清洗剂和乳酸中进行粗洗,碱性清洗剂的pH=9~10,温度30~50℃,乳酸的温度为60℃,然后分别在碱性清洗剂和纯水中进行精洗,碱...
该专利属于常州天合光能有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州天合光能有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。