下载一种电子管排气台的技术资料

文档序号:6783799

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本实用新型提供一种电子管排气台,包括机架,机械泵,扩散泵,冷阱,工作台,烘箱,传动机构,电气控制系统,其中,机械泵、扩散泵设置在机架的底部,所述机械泵通过真空管路依次连接扩散泵、冷阱、超高真空阀和排位,待排气的电子管安装在工作台的排位上;所...
该专利属于成都旭光电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都旭光电子股份有限公司授权不得商用。

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