温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种化学机械研磨设备，包括基座和设置于所述基座上的研磨平台，其特征在于，还包括：供应滚筒和回收滚筒，分别位于所述研磨平台两端；研磨垫带，被限定于所述供应滚筒和回收滚筒之间，所述研磨垫带包括固定研磨颗粒表面的保护层；第一喷管及第...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。