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本实用新型公开了一种低压化学气相沉积反应设备，包括进片室、至少一个沉积室，和出片室，所述腔室之间具有可开启关闭的阀门；所述沉积室包括可从侧面装入和卸出沉积室的沉积架，所述沉积架上纵向、间隔交替安装复数个加热板和喷淋室，所述喷淋室侧壁具有喷淋...该专利属于福建钧石能源有限公司;北京精诚铂阳光电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建钧石能源有限公司;北京精诚铂阳光电设备有限公司授权不得商用。