下载基板缓冲暂存设备的技术资料

文档序号:6758205

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本实用新型实施例公开了一种基板缓冲暂存设备,涉及液晶显示器领域,能够在显影单元之后干燥工艺的烤箱单元故障时,暂时容置由显影单元传送到烤箱单元的基板,避免基板在显影单元的显影模块长时间停留而被显影液腐蚀,从而有效减少了基板的报废。基板缓冲暂存...
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