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一种外延设备，包括一壳体、贯穿壳体中央位置的中央轴、流体管模块、公转轴套、复数承盘、外齿环、复数行星齿轮及马达。中央轴内部挖设有一轴内空间，流体管模块包括有一外管、穿设外管的三内管及一喷嘴结构，喷嘴结构包括有独立的三喷气孔组、相连通的复数入...
该专利属于拓志光机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓志光机电股份有限公司授权不得商用。

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