下载一种等离子真空陶瓷镀膜装置的技术资料

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本实用新型涉及一种镀膜装置,具体为一种等离子真空陶瓷镀膜装置。本实用新型的等离子真空陶瓷镀膜装置,其包括真空室装置、镀件工作装置和等离子体源,其中所述的真空室装置包括真空室,与真空室相连的真空泵,以及位于真空室上的进气口;所述的镀件工作装置...
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