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本发明提供一种消毒方法。将被消毒体配置于真空容器内并将真空容器内减压（Ｓ１００）。判断是否到达了３Ｐａ（Ｓ１０２），如果已经到达，则将配置于真空容器与真空泵之间的断流阀关闭（Ｓ１０４）。向电极供给高频功率（Ｓ１０６），持续０．１秒钟地向真空...
该专利属于爱鹿克株式会社;国立大学法人佐贺大学所有，仅供学习研究参考，未经过爱鹿克株式会社;国立大学法人佐贺大学授权不得商用。

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