下载一种磨削硅芯或其它晶体材料的磨头装置的技术资料

文档序号:6721221

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本发明公开的磨削硅芯或其它晶体材料的磨头装置,涉及磨机技术领域,包括安装板(14)、轴座(9)、电机(17)、传动机构和磨轮;其特征在于:还包括行星系统,所述行星系统包括小齿轮、大齿轮(13)和轴筒(12),所述大齿轮(13)与安装板(14...
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