下载氢气净化方法和系统的技术资料

文档序号:6717145

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本发明实施例公开了一种氢气净化方法和系统,用于净化多晶硅生产过程中干法回收分离出的原料气,所述方法包括:吸收步骤,将所述原料气从吸附塔底部通入吸附塔内进行吸附提纯,所述吸附塔底部设置有吸附剂床层,所述吸附剂床层包括活性炭;解吸步骤,包括将完...
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