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本实用新型实施例公开了一种平板PECVD装置的挂钩，用于支撑硅片，包括夹持部，该夹持部包括相对设置且形成夹持槽的第一夹持壁和第二夹持壁；设置在夹持部的底侧的两端的第一挂钩本体和第二挂钩本体，第一挂钩本体与第一夹持壁连接的连接部内凹于第一夹持...
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