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本发明提供了一种发光二极管（LED）激光划切机加工视觉装置，涉及激光划切机技术领域。主要具有一个与激光加工光路同轴的正面对准光路，用于透明晶圆的背面识别定位和加工实时监测；一个与激光加工光路同轴的底部对准光路，用于特殊粗化晶圆的正面识别定位...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十五研究所授权不得商用。

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