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硅石坩埚制造技术
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文档序号:6709780
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本发明涉及硅石坩埚。本发明提出用于通过在连接到吸气系统的多孔模具中熔化石英粉来制造硅石坩埚的方法和设备。所述模具围绕垂直轴旋转。通过形成电弧的电极在模具内部产生加热的气体等离子体。本发明方法包括:将石英粉熔化成致密硅石层,从在正形成的坩埚的...
该专利属于J-C.吕克所有,仅供学习研究参考,未经过J-C.吕克授权不得商用。
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