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一种用于连续熔化与组织控制多晶硅的方形电磁冷坩埚制造技术
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下载一种用于连续熔化与组织控制多晶硅的方形电磁冷坩埚的技术资料
文档序号:6708552
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一种用于连续熔化与组织控制多晶硅的方形电磁冷坩埚,它涉及一种方形电磁冷坩埚。本发明为了解决现有电磁冷坩埚由于内腔尺寸较小,导致坩埚损耗过大,新形成的硅锭容易卡在坩埚腔内,连续熔化过程容易终止,且电磁力过于集中,组织控制效果不好的问题。本发明...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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