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微电子单元及系统技术方案
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文档序号:6705512
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公开了一种微电子单元,包括:半导体元件,其具有前表面,背离前表面的后表面,多个有源半导体器件,和多个导电垫,每个导电垫具有顶表面和底表面,半导体元件具有第一开口和至少一个第二开口;至少一个导电过孔部,其在相应的第二开口内延伸并且以与相应导电...
该专利属于泰瑟拉研究有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰瑟拉研究有限责任公司授权不得商用。
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