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生产均匀多晶硅棒的方法、装置和CVD-西门子系统。本发明的方法包括提供硅棒生产装置，包括包含带夹套反应室的反应器容器，其中预加热流体在夹套中被循环，一个或更多个延伸到反应室的电极组件，每个电极组件包括气体进口、一个或更多个传热流体进口/出口...
该专利属于维塞尔·雷万卡;桑吉夫·拉郝蒂所有，仅供学习研究参考，未经过维塞尔·雷万卡;桑吉夫·拉郝蒂授权不得商用。

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