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本发明提供可以谋求结构简单化的载体装配装置，该载体装配装置(1)包括支撑载置有晶粒(90)的基部部件(70)的装配台(31)、保持盖子部件(80)的保持头(46)、具有容纳盖子部件(80)并带有开口部(444)的减压室(443)、且通过与装...
该专利属于株式会社爱德万测试所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱德万测试授权不得商用。

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