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本实用新型适用于硅片切割技术领域,提供了一种硅片切割废砂浆中切割液和碳化硅回收系统。该硅片切割液废砂浆中切割液和碳化硅回收系统包括:第一固液分离装置、第二固液分离装置、酸洗装置、碱洗装置、干燥装置及气体分级装置。本实用新型硅片切割废砂浆中切...该专利属于深圳市拓日新能源科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市拓日新能源科技股份有限公司授权不得商用。
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