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本发明涉及一种研磨垫用辅助板和采用它的研磨垫的再生方法。本发明的课题在于提供一种新结构的研磨垫用辅助板，其可在确保研磨垫相对旋转平台的固定力的同时，容易进行研磨垫相对旋转平台的装卸，特别是可防止在从旋转平台上取下研磨垫时的研磨垫的损伤。一种...
该专利属于东邦工程株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东邦工程株式会社授权不得商用。

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