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高温(600℃)压力测量无源无线声表面波传感器制造技术
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下载高温(600℃)压力测量无源无线声表面波传感器的技术资料
文档序号:6681941
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本发明涉及一种适用于高温(600℃)压力测量的无源无线传感器。本发明的无源无线高温压力传感器包括:压电衬底材料、叉指换能器、反射栅、小型天线、高温引线。高温传感器的核心为单端声表面波谐振器,衬底采用硅酸镓镧,在衬底上沉积制作叉指换能器和反射...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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