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本发明涉及一种集成晶片托盘。更具体地，本发明涉及一种集成晶片托盘，其容易地容纳多个晶片，有效地冷却晶片，并使晶片处理期间产生的杂质减到最少。本发明提供了一种集成晶片托盘，其包括：上部托盘，其具有夹持开口以及夹持单元，该夹持单元朝该夹持开口的...
该专利属于塔工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过塔工程有限公司授权不得商用。

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