专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
北京大学深圳研究生院
>
一种晶体管的制造方法技术
>技术资料下载
下载一种晶体管的制造方法的技术资料
文档序号:6678990
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种双栅结构的薄膜晶体管的制造方法,晶体管的有源区和顶栅电极采用透明薄膜材料,在光刻涂胶时,在形成顶栅电极的透明导电薄膜表面涂布光刻胶;光刻曝光时,从衬底的背面进行曝光;经光刻显影后,在导电薄膜的表面形成与底栅电极正对的光刻胶图...
该专利属于北京大学深圳研究生院所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学深圳研究生院授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。