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一种用于光伏电池的硅基介质膜的制备方法，首先对硅基衬底(100)进行III族元素或金属元素的掺杂，然后采用阳极氮化方法制备出含III族氮化物或金属氮化物的SiN薄膜(104)，再经退火处理，即可得到所需薄膜。本发明所制备的硅基介质膜可用于光...
该专利属于中国科学院电工研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。

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