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本实用新型公开一种能有效降低硅烷法多晶硅硅棒生长速度的系统。它包括混合气体预热器、还原炉、出口尾气冷却器、出口尾气过滤器、压缩机冷却器、压缩机进口过滤器、压缩机、分离系统、三通阀、返回气体管线，混合气体预热器一端、还原炉、出口尾气冷却器、出...
该专利属于浙江中宁硅业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江中宁硅业有限公司授权不得商用。

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