下载基于热损失工作方式的矩形硅膜二维风速风向传感器的技术资料

文档序号:6671604

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本实用新型提出的基于热损失工作方式的矩形硅膜二维风速风向传感器,采用矩形的半导体硅薄膜(104)作为传感面,传感器的最下层是半导体硅衬底(101),在硅衬底(101)上设置一排发热电阻(102),在具有发热电阻(102)的硅衬底(101)之...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。

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